半导体行业碳化硅长晶炉应用案例
发布时间:2025-07-26 09:56:34
宇电AI系列人工智能调节器
1、AI-8x9系列
2、AI-MODBUS-TCP1-24VDC
成功应用于国内某半导体装备制造头部企业碳化硅长晶炉,该系统温度的精确控制,仪表兼容多类型输入/输出规格,具备可调的控制周期及报警功能,通讯兼容RS485及RS232,且可匹配外部TCP模块实现MODBUS-TCP便捷通讯。
温度控制效果:

温度控制效果:温度波动≤±0.5℃@2200℃,温度超调、稳定时间等指标均与英国竞品水平相当,经终端客户验证,可完全平替国外竞品,成功实现国产替代。
